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光掩(yan)膜是刻有(you)微(wei)電路的(de)高精度版(ban)，由表面純平(ping)并(bing)帶有(you)一層鉻的(de)石英板(ban)或玻璃板(ban)制作而(er)成，蝕刻后的(de)殘留鉻部分即為設計的(de)微(wei)電圖。這種制版(ban)方式(shi)在掩(yan)膜行(xing)業(ye)稱為光透。
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